產品概述
YES–G1000對于清潔，剝離和表面改性，等離子體是有毒化學物質的有效替代品，并且在表面上沒有殘留溶劑。 副產物是惰性的并且對環境安全。
G1000的工作頻率為13.56MHz，用戶可以從5種等離子模式中進行選擇。 各向異性模式包括RIE和有源離子阱； 各向同性模式包括下游（無電子），有源和下游離子阱。
?13.56 MHz的射頻等離子體
?低壓環境
?下游侵蝕性等離子體
?溫度監控器
?3個氣體輸入
?氣體輸入可包含更多深奧氣體，例如合成氣，CF4和SF6
YES-等離子清洗系統 核心參數
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自動化: |
手動 |
樣品腔尺寸: |
45.72*45.72*30.48 |
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樣品腔容積: |
63.7 |
射頻功率: |
550 |
